我们上期介绍了TopCon太阳能电池中清洗制绒、硼扩散等一些工艺流程的目的和原理，本期「美能光伏」将给大家工艺流程中的一些细节。
清洗制绒
清洗目的：
1、去除硅片表面的有机物脏污及金属杂质；
2、去除硅片线切割过程产生的机械损伤层，减少复合中心；
3、形成起伏不平的绒面，其作用为：a.利用陷光效应，增加硅片对太阳光的吸收；4、降低反射率；同时增加硅片表面积，进而P-N结面积也同样增加。
硼扩散工序
目的:制备PN结
在N型硅片（掺磷）上扩散P型元素（硼）形成P-N结（即空间电荷区），在正面形成P+层，背面形成N+层。
原理:
在一定的浓度、温度、压力及时间下，硼源（BBr3或BCl3）在管式炉中汽化后，经过一系列化学反应在硅片表面进行沉积，获得合适的掺杂浓度、结深及方阻；
总反应：
碱抛光
目的：去除硅片边缘的PN结和去除PSG
硅片在扩散过程中，硅片边缘扩散上了磷，边缘形成PN结，载流子会通过边缘造成电池片短路，并且在扩散过程中，会形成一层含磷的玻璃体，俗称PSG，对载流子俘获能力极强，需要被去除。
LPCVD（低压化学气相沉积）
目的：
在硅片背面沉积一层超薄氧化层提供良好的界面钝化，同时提供不同载流子隧穿势垒;
氧化层上沉积一层非晶硅，增加电子的迁移速率同时抑制空穴的迁移速率；
非晶硅与金属接触，起到电子传输桥梁的作用。
原理：
用加热的方式，在低压条件下使SiH4在硅片表面反应并沉积成固体薄膜。
氧化层沉积：高温通氧气，氧气和硅反应生产氧化硅；
反应方程式：O2+Si→SiOx
非晶硅沉积：高温通硅烷，硅烷热分解成硅和氢气；反应方程式：SiH4（气）=Si（固）+H2
美能3D显微镜
美能3D显微镜ME-PT是一款高速共聚焦扫描显微镜，可用于精确可靠的3维(3D)测量。通过快速光学扫描模块和信号处理算法可实现实时共聚焦显微图像。
ME-PT3D显微镜专用于光伏行业对光伏电池片表面的栅线及绒面进行质量检测的光学仪器。以光学技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对光伏电池片上的栅线的高度与宽度、绒面上的金字塔数量进行定量检测，以反馈光伏电池片清洗制绒、丝网印刷工艺质量。
TopCon太阳能电池中的每一个工序都很重要，也都有继续优化的可能，有任何问题可以联系我们「美能光伏」。